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具有变化周期的亚波长光栅成像
时间:2019-04-12 15:07来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印
摘要

当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。

 
1. 建模任务


 
2. 结果



 
3. 文件和技术信息

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